普通定性表面结构分析 10nm分辨率化学成像 纳米级别选区光谱采集,波长范围:800-1900cm-1 选区纳米热分析
1. X Y轴样品台范围:~7x9mm,Z轴样品台范围:>10mm
2.光学视野范围:低倍下900x600微米,高倍下300x200微米
3.XY轴扫描范围:50x50微米
4.波数范围:800-1900cm-1